[实用新型]用于785纳米波段熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅无效
申请号: | 200820151906.3 | 申请日: | 2008-08-13 |
公开(公告)号: | CN201242598Y | 公开(公告)日: | 2009-05-20 |
发明(设计)人: | 周常河;冯吉军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G03F7/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种用于785纳米波段的熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅,是一种矩形高密度深刻蚀光栅,该光栅的周期为1064-1072纳米、刻蚀深度为2.580-2.602微米,光栅的占空比为0.5。本实用新型可以使TE偏振光0级衍射和±1级衍射的效率分别为32.47%和32.51%,TM偏振光0级衍射和±1级衍射的效率分别为32.95%和32.97%,总衍射效率均高于97%,对TE和TM偏振光可以同时实现近乎理想的高效率1×3分束。 | ||
搜索关键词: | 用于 785 纳米 波段 熔融 石英 透射 偏振 无关 光栅 | ||
【主权项】:
1、一种用于785纳米波段的熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅,是一种矩形高密度深刻蚀光栅,光栅的占空比为0.5,其特征在于该光栅的周期的取值范围为1064-1072纳米、刻蚀深度范围为2.580-2.602微米。
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