[实用新型]用于785纳米波段熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅无效

专利信息
申请号: 200820151906.3 申请日: 2008-08-13
公开(公告)号: CN201242598Y 公开(公告)日: 2009-05-20
发明(设计)人: 周常河;冯吉军 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G03F7/00
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 代理人: 张泽纯
地址: 201800上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 785 纳米 波段 熔融 石英 透射 偏振 无关 光栅
【权利要求书】:

1、一种用于785纳米波段的熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅,是一种矩形高密度深刻蚀光栅,光栅的占空比为0.5,其特征在于该光栅的周期的取值范围为1064-1072纳米、刻蚀深度范围为2.580-2.602微米。

2、根据权利要求1所述的熔融石英透射1×3偏振无关分束光栅,其特征在于所述光栅的周期为1068纳米,刻蚀深度为2.591微米。

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