[实用新型]膜厚测量光路系统在审
| 申请号： | 200820141226.3 | 申请日： | 2008-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN201307000Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 张博;薛尚清;谢亮;魏杨 | 申请（专利权）人： | 四川南光电气有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人： | 冯忠亮 |
| 地址： | 610100四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型为膜厚测量光路系统，解决已有光路系统光通量小，调节度粗糙，调节不便的问题。连接于光源形腔(3)的光源升降调节机构(5)内有第一透镜，光源升降调节机构与机械调制盘(7)连接，真空腔(14)内有被测片(15)，真空腔(14)与光纤偶合器的第二对接法兰(16)连接，第二对接法兰与接收套(18)连接，锁紧螺套(17)固定接收套(18)于第二对接法兰(16)上，接收套(18)与光纤调整机构(19)连接，光纤调整机构内有第三透镜(43)，光源升降调节机构(5)、主升降调节机构(10)和光纤升降机构均有螺纹旋转调节机构，光路系统的通光口径(44)为28-35mm，光纤出射端(40)和单色仪入射端(41)为有光通过的狭缝。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 | ||
【主权项】：
1、膜厚测量光路系统，其特征在于光源形腔(3)内有光源，光源升降调节机构(5)内有第一透镜组(34)，光源升降调节机构与机械调制盘(7)连接，机械调制盘通过转接套座(9)与主升降调节机构(10)连接，主升降调节机构与外轴套(11)连接，外轴套内有分光镜、第二透镜组(29)，外轴套上有信号采集插座(12)和第一对接法兰(13)，第一对接法兰与真空腔(14)连接，真空腔(14)内有被测片(15)，真空腔(14)与光纤偶合器的第二对接法兰(16)连接，第二对接法兰与接收套(18)连接，锁紧螺套(17)固定接收套于第二对接法兰上，接收套(18)与光纤调整机构(19)连接，光纤调整机构(19)与光纤的一端连接，光纤的另一端与输出套(21)连接，输出套内有第三透镜组(43)，光源升降调节机构(5)、主升降调节机构(10)、光纤升降机构均有螺纹旋转调节机构，光路系统的通光口径(44)为28—35mm，光纤出射端(40)和单色仪入射端(41)有光通过的狭缝。
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