[实用新型]膜厚测量光路系统

权利要求书

1、膜厚测量光路系统，其特征在于光源形腔(3)内有光源，光源升降调节机构(5)内有第一透镜组(34)，光源升降调节机构与机械调制盘(7)连接，机械调制盘通过转接套座(9)与主升降调节机构(10)连接，主升降调节机构与外轴套(11)连接，外轴套内有分光镜、第二透镜组(29)，外轴套上有信号采集插座(12)和第一对接法兰(13)，第一对接法兰与真空腔(14)连接，真空腔(14)内有被测片(15)，真空腔(14)与光纤偶合器的第二对接法兰(16)连接，第二对接法兰与接收套(18)连接，锁紧螺套(17)固定接收套于第二对接法兰上，接收套(18)与光纤调整机构(19)连接，光纤调整机构(19)与光纤的一端连接，光纤的另一端与输出套(21)连接，输出套内有第三透镜组(43)，光源升降调节机构(5)、主升降调节机构(10)、光纤升降机构均有螺纹旋转调节机构，光路系统的通光口径(44)为28—35mm，光纤出射端(40)和单色仪入射端(41)有光通过的狭缝。

2、根据权利要求1所述的系统，其特征在于光源升降调节机构(5)内有轴套(33)，轴套(33)的进光筒与光源形腔(3)的出光筒对接，与调节螺母(32)正螺纹连接，调节螺母(32)与光源形腔(3)的出光筒反螺纹连接，第一透镜组(34)位于轴套(33)内，轴套(33)与机械调制盘(7)连接。

3、根据权利要求1所述的系统，其特征在于所述的主升降调节机构(10)包括与转接套座(9)连接的通光轴套(24)，通光轴套(24)与外轴套(11)对接，主调节螺母(26)的一端与通光轴套正旋螺纹连接，另一端与外轴套反旋螺纹连接。

4、根据权利要求1所述的系统，其特征在于所述的光纤调整机构(19)包括与光纤夹接的调节螺母(38)，调节螺母(38)与接收套(18)一端螺纹连接。