[实用新型]一种尾气处理器有效
| 申请号： | 200820105685.6 | 申请日： | 2008-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN201260933Y | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 赵丽霞 | 申请（专利权）人： | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/18;B01D53/68 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 050200河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种尾气处理器，特别是一种用于硅外延反应气体的尾气处理装置，属晶体硅制备尾气处理装置技术领域。其结构中包括：两个相互连通的密闭水箱，水箱顶部设置用于处理SiHCl3的水幕和处理HCl的处理塔，水幕上开设进气口，处理塔上部连通负压管，水幕和处理塔分别连通循环水泵，负压管连通负压水泵，循环水泵和负压水泵的进水口分别连接水箱，其特征在于：在循环水泵的进水口设置一过滤器。该特征可防止固溶物进入泵体，减少循环水泵的磨损及堵塞现象的发生，延长其使用寿命，降低设备维修率，减少生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尾气 处理器 | ||
【主权项】：
1、一种尾气处理器，其结构中包括：两个相互连通的密闭水箱，水箱顶部设置用于处理SiHCl3的水幕和处理HCl的处理塔，水幕上开设进气口，处理塔上部连通负压管，水幕和处理塔分别连通循环水泵，负压管连通负压水泵，循环水泵和负压水泵的进水口分别连接水箱，其特征在于：在循环水泵的进水口设置一过滤器。
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