[实用新型]一种尾气处理器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种尾气处理器，特别是一种用于硅外延反应气体的尾气处理装置，属晶体硅制备尾气处理装置技术领域。

背景技术

硅外延反应气体的处理过程中，从硅外延反应室出来的气体经进气口而进入SiHCl₃水幕，在和水接触过程中，SiHCl₃和水反应成为二氧化硅和溶于水的盐酸，因为二氧化硅不溶于水，会漂浮在水里或吸附在箱体内壁，在循环水泵抽水时，很容易随水而进入泵体，造成泵体堵塞而发生故障。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种尾气处理器，通过对现有尾气处理器的结构改造，减少循环水泵的磨损及堵塞现象的发生，延长其使用寿命，从而延长尾气处理装置的使用周期。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种尾气处理器，其结构中包括：两个相互连通的密闭水箱，水箱顶部设置用于处理SiHCl₃的水幕和处理HCl的处理塔，水幕上开设进气口，处理塔上部连通负压管，水幕和处理塔连分别通循环水泵，负压管连通负压水泵，循环水泵和负压水泵的进水口连接水箱，在循环水泵的进水口设置一过滤器。

本实用新型的上述技术方案的进一步改进在于：过滤器结构中包括一多孔腔体，腔体内部装满起过滤作用的过滤圈或过滤球，

由于采用了上述技术方案，本实用新型取得的技术进步是：

本实用新型通过在循环水泵的前面加一过滤装置，从而使固溶物不能进入泵体，减少循环水泵的磨损及堵塞现象的发生，延长其使用寿命，降低设备维修率，减少生产成本。

附图说明

图1是新型尾气处理器结构原理示意图；

图2是图1中过滤器的结构示意剖视图。

其中：1、出气口，2.、循环水泵，3、负压水泵，4、阀门，5、负压管，6、水箱，7、处理塔，8、水箱，9、进气口，10、水幕，11、过滤器，11-1、多孔腔体，11-2、过滤球。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明：

如图1所示，本实用新型结构包括，两个相互连通的密闭水箱6、8，水箱6顶部设置用于处理SiHCl₃的水幕10和处理HCl的处理塔7，水幕10上开设进气口1，处理塔7上部连通负压管5，水幕10和处理塔7分别连通循环水泵2，负压管5连通负压水泵3，循环水泵2和负压水泵3的进水口分别连接水箱6、8，其特征在于：在循环水泵2的进水口设置一过滤器11。

图2所示，过滤器11结构中包括一多孔腔体11-1，腔体内部装满起过滤作用的过滤圈或过滤球11-2。

在尾气处理过程中，循环水泵2的进水通过过滤器11的过滤，可有效防止固溶物进入泵体。