[实用新型]基于压电悬臂梁的液体喷射结构无效
| 申请号： | 200820080407.X | 申请日： | 2008-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN201220507Y | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 刘淑芹 | 申请（专利权）人： | 刘淑芹 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了属于微电子机械领域的涉及采用微加工方法实现的一种基于压电悬臂梁的液体喷射结构。其主要结构包括，压电悬臂梁，微槽道，微喷孔；含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁位于液体微槽道的上部或槽道中，作为微槽道中液体喷射的驱动器；在喷孔板上设置与微槽衬底上微槽道对应的微喷孔，喷孔、微槽道和压电悬臂梁相结合构成液体喷射结构。这种液体喷射结构的压电悬臂梁能实现较大的变形，可以在较低的电压下工作，减小液体驱动器的面积和微槽道的尺寸，有利于实现具有更高密度喷孔阵列的液体喷头。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电 悬臂梁 液体 喷射 结构 | ||
【主权项】：
1.一种基于压电悬臂梁驱动的液体喷射结构，其主要结构包括，压电悬臂梁，微槽道，微喷孔；其特征在于：含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁位于液体微槽道的上部或槽道中，形成微槽道中液体喷射的驱动器；在喷孔板上设置与微槽衬底上微槽道对应的微喷孔，位于微槽道上部或槽道中的压电悬臂梁，喷孔和微槽道相结合构成液体喷射结构。
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