[实用新型]基于压电悬臂梁的液体喷射结构

权利要求书

1.一种基于压电悬臂梁驱动的液体喷射结构，其主要结构包括，压电悬臂梁，微槽道，微喷孔；其特征在于：含有压电薄膜层及其上、下电极的压电悬臂梁位于液体微槽道的上部或槽道中，形成微槽道中液体喷射的驱动器；在喷孔板上设置与微槽衬底上微槽道对应的微喷孔，位于微槽道上部或槽道中的压电悬臂梁，喷孔和微槽道相结合构成液体喷射结构。

2.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷射结构，其特征在于：所述压电悬臂梁的一端或一侧与衬底相连，形成悬臂梁的固定支撑端，悬臂梁其它部分为悬空可动，在每个微槽道上部或槽道中放置至少一个。

3.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷射结构，其特征在于：所述压电悬臂梁为包含压电的和非压电的多层复合结构，其中至少包含一层压电层及其上、下电极层。

4.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷射结构，其特征在于：所述压电悬臂梁的表面为电绝缘层。

5.根据权利要求1所述基于压电悬臂梁驱动的液体喷射结构，其特征在于：所述压电悬臂梁驱动的液体喷射结构，包含至少一组压电悬臂梁、微槽道、微喷孔，构成以压电悬臂梁驱动的阵列式液体喷射结构。