[实用新型]一种多级干式真空泵的清洗装置有效
| 申请号： | 200820013365.8 | 申请日： | 2008-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN201200981Y | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | 王光玉;秦佰林;房伟;刘在行 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/00 | 分类号： | B08B5/00;B08B5/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110168辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空泵清洗技术，具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置，包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路，减压阀的一端与气体输入端相连，另一端连接有质量流量控制器；气体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分，质量流量控制器的输出端分为两路、分别与气体管路的第一、二部分相连接；质量流量控制器与气体管路连接的每一路均设有电磁阀；气体管路中的第一部分与干式真空泵的一级腔体相连接，第二部分分别与干式真空泵的二～五腔体连接。本实用新型对每一级腔体均起到了清洗作用，清洗彻底，具有控制简单、准确，真空度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多级 真空泵 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种多级干式真空泵的清洗装置，其特征在于：包括减压阀(1)、质量流量控制器(2)、电磁阀及气体管路(4)，减压阀(1)的一端与气体输入端相连，另一端连接有质量流量控制器(2)；气体管路(4)分为封闭独立的第一部分(10)及第二部分(11)，质量流量控制器(2)的输出端分为两路、分别与气体管路(4)的第一、二部分(10、11)相连接；质量流量控制器(2)与气体管路(4)连接的每一路均设有电磁阀；气体管路(4)中的第一部分(10)与干式真空泵的一级腔体(A)相连接，第二部分(11)分别与干式真空泵的二～五腔体(B～E)连接。
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