[实用新型]基板载具无效
| 申请号： | 200820006106.2 | 申请日： | 2008-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN201186950Y | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 黄泳钊;郑博仁 | 申请（专利权）人： | 北儒精密股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 | 代理人： | 万学堂;桑丽茹 |
| 地址： | 台湾省台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板载具，可供数片基板架设，该基板载具包括一承载板，该承载板包括一第一面、一第二面，以及数个贯穿第一及第二面并界定出一穿孔的孔界定面；而该基板载具还包括数量和穿孔相同的夹持单元，以及一个安装在承载板上并遮闭夹持单元的挡板单元，每个夹持单元都包括：一安装在承载板上并位在穿孔上缘处的弹扣件，以及一个安装在承载板上并位在穿孔下缘处的承载件。借弹扣件及承载件来架设基板，可以让基板在组装及取下时更为方便，而借挡板单元设计，可以避免夹持单元沾附溅镀材料后污染下一片载运的基板，以确保基板的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 | ||
【主权项】：
1.一种基板载具，用来承载至少一片基板，包括：一片承载板，以及一个第一夹持单元，该承载板包括一第一面、一第二面，以及一个贯穿第一及第二面并界定出一第一穿孔的孔界定面；其特征在于：该第一夹持单元包括一个安装在第一穿孔上缘处并用来夹持基板顶缘的弹扣件，以及一个安装在第一穿孔下缘处并用来承载基板的承载件，而该基板载具还包括一个安装在承载板上并用来遮盖所述第一夹持单元的挡板单元。
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