[实用新型]基板载具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板载具，特别是涉及一种可供数片基板架设，并将基板一起送入加工机内进行加工的基板载具。

背景技术

以往连续式真空溅镀设备为了达到连续加工的目的，通常是利用一种如图1、2的基板载具1来载运基板10。上述基板载具1包括一片矩形的承载板11，以及数个数量和载运基板10相同的定位单元12。该承载板11具有一个朝向溅镀设备的第一面111、一个和第一面111间隔的第二面112，以及数个贯穿第一及第二面111、112且各别界定出一个穿孔113的孔界定面114，每个孔界定面114都具有一环往中央突出并邻近第二面112的抵靠突环115，而所述定位单元12都包括数片贴靠在承载板11的第一面111的定位片121，以及数支将定位片121安装在承载板11上的螺丝122，上述定位片121具有一个往穿孔113突出的定位部123。

组装时先将基板10摆放在承载板11的穿孔113处，摆放后该基板10的一个背面会贴靠在抵靠突环115的前方，而该基板10的一加工面是和承载板11的第一面111平齐，然后以螺丝122将定位片121安装在承载板11上，安装后所述定位片121的定位部123会往基板10突出，并因此将基板10架设在该承载板11上。

以往基板载具1以螺丝122将基板10以可拆解的方式安装承载板11上的设计，虽然具有架设基板10的功能，但在使用时却具有下述缺失：

一、以往基板载具1在组装及取下基板10的作业上，必需多次的螺转螺丝122，故在组装及拆解基板10的操作上很麻烦。

二、以往基板载具1是以定位单元12将基板10安装在承载板11上，在安装后所述定位片121会一起随着基板10送入溅镀室进行溅镀加工，在接受溅镀加工时，虽然溅镀的区域是以基板10为主，但由于定位片121需要压抵定位基板10并且很靠近基板10，因此，在溅镀时溅镀材料难免会附着在定位片121及螺丝122上，这些附着有溅镀材料的定位片121由于需要重复再使用，且在使用时各定位片121会直接压靠在基板10的加工面上，因此，当定位片121上的溅镀材料沾黏在下一片基板10的加工面上时，会造成基板10洁净度的下降，这样对于基板10的溅镀品质多少会有影响。

三、以往基板载具1的唯一功能是承载基板10，也就是基板载具1缺乏辨识性，因此，当基板10需要经过多次加工时，操作人员往往无法由基板载具1外观辨识出架设其上的基板10的加工状况，造成检验及辨别上的不方便。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是在提供一种组卸基板方便、快速，并可防止载运的基板受到污染的基板载具。

本实用新型的次要目的是在提供一种具有辨识功能的基板载具。

本实用新型的基板载具，用来承载至少一片基板，包括：一片承载板，以及一个第一夹持单元，该承载板包括一第一面、一第二面，以及一个贯穿第一及第二面并界定出一第一穿孔的孔界定面。

本实用新型的特征在于：该第一夹持单元包括一个安装在第一穿孔上缘处并用来夹持基板顶缘的弹扣件，以及一个安装在第一穿孔下缘处并用来承载基板的承载件，而该基板载具还包括一个安装在承载板上并用来遮盖所述第一夹持单元的挡板单元。

而本实用新型的次要特征在于：该承载板还包括数个贯穿第一面及第二面的辨识孔，又该基板载具还包括数个可取下地安装在所述辨识孔上的辨识件。

本实用新型的有益功效在于：借弹扣件及承载件来架设基板，可以达到组装及取下基板简单的功效，而借挡板单元的设计，可以避免夹持单元受到溅镀材料污染后再度污染下一片载运的基板，本实用新型的辨识孔及辨识件的设计，可以使基板的加工情况及检验更容易掌握。

附图说明

图1是一种以往基板载具的正视参考图；

图2是沿图1中2-2线所取的一组合剖视图；

图3是本实用新型基板载具的一较佳实施例的立体分解参考图；

图4是该较佳实施例的一局部组合剖视图；

图5是该较佳实施例的一局部立体放大图，主要显示该基板载具的一弹扣件：

图6是该较佳实施例的另一局部立体放大图，主要显示该基板载具的一承载件；

及

图7是该较佳实施例的又一局部立体放大图，主要显示该基板载具的一辨识单元。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明：