[实用新型]固定装置及其系统无效
| 申请号: | 200820005050.9 | 申请日: | 2008-04-03 |
| 公开(公告)号: | CN201222492Y | 公开(公告)日: | 2009-04-15 |
| 发明(设计)人: | 黄明鸿;杜水年 | 申请(专利权)人: | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁 挥;张燕华 |
| 地址: | 台湾省台南*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 一种固定装置及其系统,该固定装置至少包括:工作基台、二定位机构以及固定机构。其中二定位机构位于工作基台的顶面,作为固定一承载盒的定位基准。至于固定机构则以基座固接在工作基台底面,且基座在凸伸于工作基台之外的部分穿设有容置空间,容置空间中设有至少二导杆,而至少二导杆穿设在活动固定机构与二弹性组件中,且此活动固定机构同时与承载盒的二侧面接触,其中活动固定机构底面还设有连杆,此连杆穿设在枢接于基座底面的作动杆的导槽中。 | ||
| 搜索关键词: | 固定 装置 及其 系统 | ||
【主权项】:
1.一种固定装置,用来固定一集成电路芯片承载盒,该集成电路芯片承载盒至少包含有依序邻接的一第一侧面、一第二侧面、一第三侧面、以及一第四侧面,其特征在于,该固定装置至少包括:一工作基台;二定位机构,位在该工作基台的顶面,该些定位机构分别与该第一侧面及该第二侧面相接触;以及一固定机构,至少包括:一基座,固接在该工作基台的底面,且凸伸于该工作基台之外,而凸伸于该工作基台之外的该基座的部分还穿设有一容置空间;至少二导杆,该些导杆互相平行地设置在该容置空间中;一活动固定机构,设有至少二穿孔,该些导杆分别穿设在该些穿孔中,且该活动固定机构同时与该集成电路芯片承载盒的该第三侧面与该第四侧面接触,其中该活动固定机构的底面还设有一连杆;至少二弹性组件,分别套设在该些导杆上;以及一作动杆,枢接在该基座的底面,且凸伸于该基座之外,其中位在该基座的底面下的该作动杆的部分还设有一导槽,且该连杆穿设在该导槽中。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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