[发明专利]软性基板镀膜治具无效
| 申请号: | 200810304671.1 | 申请日: | 2008-09-25 |
| 公开(公告)号: | CN101684546A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
| 发明(设计)人: | 黄建豪 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52;C23C14/35 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种软性基板镀膜治具,其用于支撑一待镀膜的软性基板。该软性基板镀膜治具包括至少一个转动体、一个用于活动架设该转动体的支架及一个电机。该待镀膜的软性基板首尾相接并包覆该转动体。该电机包括一个转轴,该转轴固定在该至少一个转动体的一端。该转轴带动该转动体转动,以通过该待镀膜的软性基板带动该至少一个转动体转动,从而使待镀膜的软性基板进行移动镀膜,起到模仿磁控溅镀机台的效果,易于确定镀膜参数同时提高了镀膜参数的精度。 | ||
| 搜索关键词: | 软性 镀膜 | ||
【主权项】:
1.一种软性基板镀膜治具,其用于支撑一待镀膜的软性基板,其特征在于,该软性基板镀膜治具包括至少一个转动体、一个用于活动架设该转动体的支架及一个电机,该待镀膜的软性基板首尾相接并包覆该转动体,该电机包括一个转轴,该转轴固定在该至少一个转动体的一端,该转轴带动该转动体转动。
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