[发明专利]镀膜蒸发载具及使用该镀膜蒸发载具的真空镀膜装置无效
| 申请号： | 200810302486.9 | 申请日： | 2008-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101619446A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜蒸发载具，其包括一个具有一个转子的驱动部，至少一个转动部及多个可放置薄膜材料的收容部，该至少一个转动部包括一个活动耦合至该转子的柱状转动体及沿该柱状转动体延伸且分别用于支撑该多个收容部的多个支撑体。所述的镀膜蒸发载具通过在多个收容部内分散放置不同或相同的薄膜材料及驱动部驱动转动部将放置所需薄膜材料的收容部转动至电子发射源发射电子的路径上，无需频繁更换镀膜蒸发载具及薄膜材料，提高了生产效率，且所需预熔的薄膜材料的深度变小，从而改善了预熔效果。本发明还涉及一种使用上述镀膜蒸发载具的真空镀膜装置。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 蒸发 使用 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜蒸发载具，其特征在于：其包括一个具有一个转子的驱动部，至少一个转动部及多个可放置薄膜材料的收容部，该至少一个转动部包括一个活动耦合至该转子的柱状转动体及沿该柱状转动体延伸且分别用于支撑该多个收容部的多个支撑体。
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