[发明专利]镀膜蒸发载具及使用该镀膜蒸发载具的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜蒸发载具，其特征在于：其包括一个具有一个转子的驱动部，至少一个转动部及多个可放置薄膜材料的收容部，该至少一个转动部包括一个活动耦合至该转子的柱状转动体及沿该柱状转动体延伸且分别用于支撑该多个收容部的多个支撑体。

2.如权利要求1所述的镀膜蒸发载具，其特征在于，所述柱状转动体的一个端面开设有一个与该转子相配合的凹槽。

3.如权利要求2所述的镀膜蒸发载具，其特征在于，所述转子的顶端呈六角形及该凹槽的截面呈六角形。

4.如权利要求1所述的镀膜蒸发载具，其特征在于，所述镀膜蒸发载具还包括一个载具遮罩，该载具遮罩罩设该至少一个转动部及该多个收容部，该载具遮罩大致呈圆柱状，其包括一个顶面及一个与顶面大致垂直连接的侧面，该顶面开设有呈矩阵状排列的多个孔洞，该侧面开设一个用于供电子进入的开口。

5.如权利要求1所述的镀膜蒸发载具，其特征在于，所述镀膜蒸发载具包括三个依次叠合的转动部，一个定位支架及一个底座，该底座支撑该定位支架及最靠近该底座的一个转动部，且与最靠近该底座的一个转动部活动连接，该底座开设有一个供该转子穿过的圆通孔，每个转动部的柱状转动体是中空的，该转子穿过该圆通孔且可分别活动耦合至每个柱状转动体，该定位支架包括一个主体及固定在主体上且沿主体轴向间隔设置的三个电磁体，三个电磁体分别与三个柱状转动体相对。

6.如权利要求5所述的镀膜蒸发载具，其特征在于，所述每个转动部的柱状转动体内形成一个六角形通孔，该每个六角形通孔相互对准且尺寸相同。

7.如权利要求6所述的镀膜蒸发载具，其特征在于，所述转子的顶端呈六角形。

8.如权利要求5所述的镀膜蒸发载具，其特征在于，所述镀膜蒸发载具还包括一个载具遮罩，该载具遮罩罩设三个转动部及多个收容部，该载具遮罩大致呈圆柱状，其包括一个顶面及一个与顶面大致垂直连接的侧面，该顶面开设有呈矩阵状排列的多个孔洞，该侧面开设一个用于供电子进入的开口。

9.一种真空镀膜装置，其包括一个真空室，置于该真空室内的一个蒸发源及一个夹具，该夹具与该蒸发源相对设置。该蒸发源包括一个如权利要求1至8项中任一项所述的镀膜蒸发载具及一个电子发射源，该电子发射源用于发射电子至该多个收容部中的一个收容部。