[发明专利]一种等离子体产生装置有效
| 申请号： | 200810224783.6 | 申请日： | 2008-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101772253A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 程芝峰;徐跃民;孙海龙;吴逢时;丁亮;王之江;孙简 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间科学与应用研究中心 |
| 主分类号： | H05H1/50 | 分类号： | H05H1/50;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人： | 杨小蓉 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体产生装置，包括：外壳(12)、外壳(12)内部为真空腔体、与外壳(12)同轴放置的亥姆霍兹线圈(11)、位于外壳(12)内的阴极(9)及位于外壳(12)内、与阴极(9)相对的阳极(10)；阴极(9)采用沿轴向开口的空心金属管结构，其开口方向与阳极(10)相对，阴极(9)与阳极(10)平行设置。本装置采用磁约束线形空心阴极放电方式产生高密度大面积的等离子体片，具有空心阴极增强等离子体密度的作用，使阴阳电极间形成均匀的、密度在1012cm-3以上、几何尺寸在60cm×60cm以上、厚度维持在2cm左右的等离子体片(13)。大面积高密度的等离子体在材料表面处理，等离子体与电磁波相互作用的研究等方面有巨大优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 产生 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体产生装置，包括：一外壳(12)、一与外壳(12)同轴放置的亥姆霍兹线圈(11)、一位于外壳(12)内的阴极(9)及一位于外壳(12)内、与阴极(9)相对的阳极(10)；所述阳极(10)是平板电极；所述外壳(12)内部为真空腔体；其特征在于，所述阴极(9)采用沿轴向开口的空心金属管结构，所述开口方向与阳极(10)相对；所述阴极(1)与阳极(2)平行设置。
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