[发明专利]一种等离子体产生装置有效
| 申请号： | 200810224783.6 | 申请日： | 2008-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101772253A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 程芝峰;徐跃民;孙海龙;吴逢时;丁亮;王之江;孙简 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间科学与应用研究中心 |
| 主分类号： | H05H1/50 | 分类号： | H05H1/50;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人： | 杨小蓉 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 产生 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体产生装置，包括：一外壳（12）、一与外壳（12）同轴放置的 亥姆霍兹线圈（11）、一位于外壳（12）内的阴极（9）及一位于外壳（12）内、与 阴极（9）相对的阳极（10）；所述阳极（10）是平板电极；所述外壳（12）内部为 真空腔体；
其特征在于，
所述阴极（9）采用沿轴向开口的空心金属管结构，所述开口的方向与阳极（10） 相对；
所述阴极（1）与阳极（2）平行设置。
2.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其特征在于，所述阴极（9）的 开口宽度的尺寸为所述空心金属管的内壁直径的0.8～0.95倍。
3.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其特征在于，所述阴极（9）内 壁做抛光处理，所述阴极（9）外壁做高压绝缘处理。
4.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其特征在于，所述阳极（2）的 形状为圆形或多边形。
5.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其特征在于，所述阳极（10）表 面做抛光处理。
6.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其特征在于，所述外壳（12）采 用普通玻璃、有机玻璃材料或碳酸酯材料制得。
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