[发明专利]在透明电极上制作AAO模板的方法及相应器件无效
| 申请号： | 200810224414.7 | 申请日： | 2008-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN101386985A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 肖立新;段来强;罗方闻;陈志坚;龚旗煌 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C25D11/04;B82B3/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 李稚婷 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在透明电极上制作AAO模板的方法及相应的器件。先在透明电极上镀一层适当厚度的金属钛作为缓冲层，再在其上镀金属铝层，然后以酸性溶液为电解液进行阳极氧化电解，从而在透明电极上制作出AAO纳米多孔阵列结构模板，相应地得到一种透明电极和AAO模板复合器件。本发明中的钛缓冲层起到了很好的粘附和保护作用，在保证铝层不脱落且完全电解的情况下，很好地保护了透明电极层不被电解破坏，得到直通衬底的纳米多孔阵列结构。而且，在电解作用下，钛层经扩散和氧化变得透明，保证了整体结构具有高的透光性，可广泛应用于太阳能电池器件和电致发光器件等光电子器件中。本发明制作工艺简单，易于大面积制作，适合工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 电极 制作 aao 模板 方法 相应 器件 | ||
【主权项】：
1. 一种在透明电极上制作AAO模板的方法，先在透明电极上镀一层厚度为8nm～45nm的金属钛作为缓冲层，再在其上镀金属铝层，然后以酸性溶液为电解液进行阳极氧化电解，获得AAO模板。
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