[发明专利]在透明电极上制作AAO模板的方法及相应器件无效
| 申请号： | 200810224414.7 | 申请日： | 2008-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN101386985A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 肖立新;段来强;罗方闻;陈志坚;龚旗煌 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C25D11/04;B82B3/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 李稚婷 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透明 电极 制作 aao 模板 方法 相应 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种在透明电极上制作AAO模板的方法，先在透明电极上镀一层厚度为8nm～45nm的金属钛作为缓冲层，再在其上镀金属铝层，然后以酸性溶液为电解液进行阳极氧化电解，获得AAO模板。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述透明电极是ITO、FTO或AZO透明电极。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：采用磁控溅射或电子束蒸发的方法镀金属钛缓冲层。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：采用磁控溅射、电子束蒸发或热蒸镀的方法镀金属铝层，厚度在50nm以上。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：采用一次电解法或二次电解法进行阳极氧化电解，电解液是草酸、磷酸、硫酸、铬酸或柠檬酸溶液，或者是它们的混合液。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于：所述电解液为1vol％～5vol％的硫酸溶液。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在小于30V的直流电压下进行阳极氧化电解。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于：阳极氧化电解后还进一步在酸性溶液中浸泡一段时间进行扩孔。
9.如权利要求7所述的方法，其特征在于：阳极氧化电解后在5wt％磷酸溶液中浸泡15-60min扩孔。
10.一种透明电极和AAO模板复合器件，包括依次叠加的透明电极层、钛氧化过渡层和氧化铝纳米多孔阵列，是利用权利要求1～9中任意一种方法在透明电极上制备AAO模板而得到的复合器件。
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