[发明专利]一种形貌可控的微纳结构薄膜的制备系统及其制备方法无效
| 申请号： | 200810219893.3 | 申请日： | 2008-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101435069A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 江绍基;王超义;胡琳欣;唐继甲 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人： | 禹小明 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涉及薄膜的制备领域，提出一种操作简单、控制精确的形貌可控的微纳结构薄膜的制备系统，其包括用于真空镀膜的真空室、设于真空室内的蒸发源及基片，还包括用于控制基片倾斜角度的第一步进马达、用于控制基片在其表面平面内做旋转运动的第二步进马达、用于将两个马达固定于真空室内的固定装置、与第一步进马达连接的脉冲发生控制装置、与第二步进马达连接的马达精度调节装置。本发明具有操作简单、控制精确的特点。其装置不用经过复杂的程序操作，即可实现对基片的倾斜角度、旋转速度进行控制，其控制精度范围大，足以满足多种形貌镀膜条件的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 形貌 可控 结构 薄膜 制备 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1、一种形貌可控的微纳结构薄膜的制备系统，其包括用于真空镀膜的真空室、设于真空室内的蒸发源及基片，其特征在于还包括用于控制基片倾斜角度的第一步进马达、用于控制基片在其表面平面内做旋转运动的第二步进马达、与第一步进马达连接的脉冲发生控制装置、与第二步进马达连接的马达精度调节装置。
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