[发明专利]坩埚加热装置和包括该坩埚加热装置的淀积装置有效
| 申请号： | 200810214020.3 | 申请日： | 2008-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101372736A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 鲁硕原;姜泰旻;成镇旭;李相奉;李承默;朴镇佑;金善浩;郑明钟 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/26;F27B14/06;F27B14/20 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗正云;王诚华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种坩埚加热装置和一种包括该坩埚加热装置的淀积装置。该坩埚加热装置包括：坩埚，其包括用于容纳淀积材料的主体和设置在所述主体并具有喷嘴的盖；带，其通过接触部分与所述坩埚相连；热电偶，其与所述带相连；壳体，其用于容纳所述坩埚和所述带；和加热器，其设置在所述壳体内部，用于加热所述淀积材料。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 加热 装置 包括 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚加热装置，包括：坩埚；带，与所述坩埚的底部相连，具有用于接触所述坩埚的底部的接触部分；热电偶，具有与所述带相连的第一端子；壳体，用于容纳所述坩埚和所述带；和加热器，设置在所述壳体内部，用于加热容纳于所述坩埚内的淀积材料。
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