[发明专利]光学扫描探针、光学扫描探针装置及其控制方法

摘要

光学扫描探针、光学扫描探针装置及其控制方法。提供一种光学扫描探针，其包括利用光来扫描受检体的光学扫描元件，以及用于对使该光学扫描元件执行光学扫描的驱动信号进行切换的信号切换部件。该光学扫描元件包括：具有微型反射镜的可动部分，该微型反射镜沿着第一转动方向和第二转动方向移位；以及向该可动部分施加物理作用力的第一和第二驱动器。该信号切换部件具有用于将驱动准备信号切换成扫描驱动信号的功能，其中该驱动准备信号用于沿着第一转动方向或者第二转动方向吸引该可动部分，并且该扫描驱动信号用于交替地沿着第一转动方向和第二转动方向吸引该可动部分。该驱动准备信号的最大电压被设定为高于扫描驱动信号的最大电压。

主权项

1. 一种光学扫描探针，该光学扫描探针用于通过利用光扫描并照射受检体内部的区域并且检测从所述区域的受照射点发射的光来观察所述受检体的内部，所述光学扫描探针包括：光学扫描元件，设置于所述探针的尖端部分中，并且利用经过插入在所述探针中的光传输部件而被引导至所述尖端部分的光来对所述受检体内部的区域进行光学扫描；以及信号切换部件，用于切换使所述光学扫描元件执行光学扫描的驱动信号，其中所述光学扫描元件包括：具有微型反射镜的可动部分，支撑所述微型反射镜以使其弹性移位，并且沿着第一转动方向和与所述第一转动方向反向的第二转动方向而使该微型反射镜双向移位；第一驱动器，向所述可动部分施加沿着所述第一转动方向的物理作用力；以及第二驱动器，向所述可动部分施加沿着所述第二转动方向的物理作用力，所述信号切换部件具有用于在扫描准备信号和扫描驱动信号之间切换并且输出所切换的信号的功能，其中，所述扫描准备信号用于在所述探针被插入到所述受检体中之前响应于时序信号而沿着所述第一转动方向和所述第二转动方向中的一个吸引所述可动部分，并且所述扫描驱动信号用于交替地沿着所述第一转动方向和所述第二转动方向吸引所述可动部分，并且所述扫描准备信号的最大电压被设定为高于所述扫描驱动信号的最大电压。