[发明专利]光学扫描探针、光学扫描探针装置及其控制方法

权利要求书

1.一种光学扫描探针，该光学扫描探针用于通过利用光扫描并照射受检体内部的区域并且检测从所述区域的受照射点发射的光来观察所述受检体的内部，

所述光学扫描探针包括：

光学扫描元件，设置于所述探针的尖端部分中，并且利用经过插入在所述探针中的光传输部件而被引导至所述尖端部分的光来对所述受检体内部的区域进行光学扫描；以及

信号切换部件，用于切换使所述光学扫描元件执行光学扫描的驱动信号，

其中

所述光学扫描元件包括：具有微型反射镜的可动部分，支撑所述微型反射镜以使其弹性移位，并且沿着第一转动方向和与所述第一转动方向反向的第二转动方向而使该微型反射镜双向移位；第一驱动器，向所述可动部分施加沿着所述第一转动方向的物理作用力；以及第二驱动器，向所述可动部分施加沿着所述第二转动方向的物理作用力，

所述信号切换部件具有用于在扫描准备信号和扫描驱动信号之间切换并且输出所切换的信号的功能，其中，所述扫描准备信号用于在所述探针被插入到所述受检体中之前响应于时序信号而沿着所述第一转动方向和所述第二转动方向中的一个吸引所述可动部分，并且所述扫描驱动信号用于交替地沿着所述第一转动方向和所述第二转动方向吸引所述可动部分，并且

所述扫描准备信号的最大电压被设定为高于所述扫描驱动信号的最大电压。

2.根据权利要求1所述的光学扫描探针，还包括通过检测探针插入到所述受检体中而输出检测信号的传感器，

其中从所述传感器输出的检测信号被输入到所述信号切换部件中作为时序信号。

3.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中，当所述光学扫描探针的电源接通时，所述时序信号被输入到所述信号切换部件中。

4.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中利用连接到所述信号切换部件的开关来输入所述时序信号。

5.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中，当在所述第一转动方向和所述第二转动方向之间切换所述可动部分的移位方向时，所述可动部分的最终移位位置是所述可动部分的下端与所述可动部分下方的一构件形成接触的位置。

6.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中，当在所述第一转动方向和所述第二转动方向之间切换所述可动部分的移位方向时，所述可动部分的最终移位位置正好在所述可动部分的下端与所述可动部分下方的构件形成接触的位置之前。

7.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中所述物理作用力是静电力。

8.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中所述物理作用力被施加到所述可动部分的多个作用点。

9.根据权利要求8所述的光学扫描探针，其中能够在所述可动部分的所述第一和第二转动方向的每一个中设定两个或者更多个物理作用力。

10.根据权利要求1所述的光学扫描探针，还包括在低于大气压的减压下至少密封所述可动部分的密封结构。

11.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中，所述光学扫描元件被支撑成使得所述可动部分能够围绕第一转动轴和第二转动轴双轴地转动移位，并且对所述受检体的所述区域进行二维光学扫描，其中所述第一转动轴用于沿着所述第一和第二转动方向的移位，所述第二转动轴与所述第一转动轴正交。

12.根据权利要求1所述的光学扫描探针，还包括：

光源，发射将要照射到所述受检体上的光；

扫描驱动器，供给用于驱动和摆动所述光学扫描元件的微型反射镜的驱动信号；以及

返回光传输部件，将光从所述光学扫描元件二维扫描的光对所述受检体的照射点引导至基端部分。

13.根据权利要求12所述的光学扫描探针，还包括在所述光源和所述光学扫描元件之间的针孔，其中，经过所述针孔的光基本上成为点光源，从而在所述光源和所述受检体之间形成共焦点光学系统。

14.根据权利要求13所述的光学扫描探针，其中，所述针孔形成在套圈中，所述套圈在所述探针的尖端部分处附接到所述光传输部件的端部。

15.根据权利要求1所述的光学扫描探针，其中，从照射点发射的光是反射光、散射光、荧光和磷光中的一种。