[发明专利]一种金属/陶瓷微叠层材料及其制备方法

摘要

本发明提供一种金属/陶瓷微叠层材料及其制备方法。采用电子束物理气相沉积技术，通过电子枪交替蒸发金属和陶瓷靶材来制备的。陶瓷层厚度为1μm，金属层厚度为10～35μm。金属层和陶瓷层的体积分数比即厚度即层厚比为10～35。所用的金属靶材为Ni-20Co-12Cr-4Al(wt％)，陶瓷靶材为含8wt％Y₂O₃的ZrO₂(YSZ)。金属/陶瓷微叠层材料具有大层厚比，因此该材料能在很大程度上保持金属材料的韧性好的特点。同时，叠层结构的存在，限制了金属层中柱状晶的长大，减少了裂纹沿金属晶界扩展的可能性。与单层EB-PVD金属薄板相比，该微叠层材料中的金属层发生脆性沿晶断裂的几率更小，金属层强度更高。

主权项

1. 一种金属/陶瓷微叠层材料及其制备方法，其特征在于：所述的金属/陶瓷微叠层材料，是采用电子束物理气相沉积技术，通过电子枪交替蒸发金属和陶瓷靶材来制备的；陶瓷层厚度为1μm；金属层厚度为10～35μm；金属层和陶瓷层的体积分数比即层厚比为10～35；所用的金属靶材为Ni-20Co-12Cr-4Al(wt％)，陶瓷靶材为含8wt％ Y2O3的ZrO2(YSZ)。