[发明专利]一种含氟组合物及其应用无效
| 申请号： | 200810203716.6 | 申请日： | 2008-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101748002A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘兵;彭洪修;彭杏 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/66 | 分类号： | C11D1/66;C11D3/37;B08B3/08;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种含氟组合物，其含有氟化物、聚乙烯吡咯烷酮类聚合物和载体。本发明克服了现有的含氟组合物存在的多晶硅腐蚀速率大的缺陷，通过加入筛选出的在含氟体系中适用的多晶硅腐蚀抑制剂聚乙烯吡咯烷酮类聚合物，提供了一种有效抑制多晶硅腐蚀速率的含氟组合物，进一步拓宽了含氟组合物在半导体晶片清洗、多晶硅机械抛光和湿蚀刻，太阳能电池等领域的应用范围。本发明还公开了含氟组合物在清洗半导体晶片中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种含氟组合物，其含有氟化物、聚乙烯吡咯烷酮类聚合物和载体。
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