[发明专利]一种含氟组合物及其应用

权利要求书

1.一种含氟组合物，其含有氟化物、聚乙烯吡咯烷酮类聚合物和载体。

2.如权利要求1所述的含氟组合物，其特征在于：所述的聚乙烯吡咯烷酮类聚合物为均聚物和/或共聚物。

3.如权利要求2所述的含氟组合物，其特征在于：所述的共聚物为乙烯基吡咯烷酮与除其外的其他乙烯基单体的共聚物。

4.如权利要求3所述的含氟组合物，其特征在于：所述的共聚物为乙烯基吡咯烷酮与除其外的其他乙烯基单体的二元和/或三元共聚物。

5.如权利要求3或4所述的含氟组合物，其特征在于：所述的其他乙烯基单体为乙烯、丙烯、苯乙烯、丙烯酰胺、丙烯腈、丙烯酸类单体、甲基丙烯酸类单体、丙烯酯类单体和甲基丙烯酯类单体中的一种或多种。

6.如权利要求5所述的含氟组合物，其特征在于：所述的丙烯酸类单体为丙烯酸；所述的甲基丙烯酸类单体为甲基丙烯酸；所述的丙烯酯类单体为丙烯酸甲酯和/或丙烯酸羟乙酯；所述的甲基丙烯酯类单体为甲基丙烯酸甲酯和/或甲基丙烯酸羟乙酯。

7.如权利要求1所述的含氟组合物，其特征在于：所述的聚乙烯吡咯烷酮类聚合物的含量为0.001～5％，百分比为质量百分比。

8.如权利要求1所述的含氟组合物，其特征在于：所述的氟化物为氟化氢、氟化氢铵和氟化氢与碱形成的盐中的一种或多种。

9.如权利要求8所述的含氟组合物，其特征在于：所述的碱为氨水、季铵氢氧化物和醇胺中的一种或多种。

10.如权利要求8所述的含氟组合物，其特征在于：所述的氟化物为氟化氢、氟化氢铵、四甲基氟化铵和三羟乙基氟化铵中的一种或多种。

11.如权利要求1所述的含氟组合物，其特征在于：所述的氟化物的含量为0.1～40％，百分比为质量百分比。

12.如权利要求1所述的含氟组合物，其特征在于：所述的载体为水或有机溶剂的水溶液。

13.如权利要求12所述的含氟组合物，其特征在于：所述的有机溶剂为亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、醇、醚和酰胺中的一种或多种。

14.如权利要求13所述的含氟组合物，其特征在于：所述的亚砜为C₁～C₄亚砜和/或C₇～C₁₀的芳基亚砜；所述的砜为C₁～C₄砜和/或C₇～C₁₀的芳基砜；所述的醇为C₁～C₄烷基醇和/或C₇～C₁₀的芳基醇；所述的醚为C₃～C₂₀的醚；所述的酰胺为C₁～C₆烷基酰胺。

15.如权利要求13所述的含氟组合物，其特征在于：所述的有机溶剂为二甲基亚砜、环丁砜、1，3-二甲基-2-咪唑烷酮、N-甲基吡咯烷酮、羟乙基吡咯烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮、丙二醇、二乙二醇、丙二醇单甲醚、二丙二醇单甲醚、二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一种或多种。

16.如权利要求12所述的含氟组合物，其特征在于：所述的有机溶剂的水溶液中水的含量为不少于5％，百分比为质量百分比。

17.如权利要求1～16任一项所述的含氟组合物在清洗半导体晶片中的应用。