[发明专利]拼接光栅位移偏差监测系统无效
| 申请号： | 200810203381.8 | 申请日： | 2008-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN101419319A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 师树恒;王斌;王勇;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G01B7/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种拼接光栅位移偏差监测系统，包括安装所述拼接光栅的光栅拼接装置，该光栅拼接装置的精调装置平台安装有压电陶瓷驱动器，第一电容式数字微位移传感器的两极板相对地分别安装在所述粗调装置平台和精调装置的底层平台水平方向的位置，第二电容式数字微位移传感器的两级板相对地分别安装在所述精调装置的底层平台和上层平台的垂直方向的位置；所述的第一电容式数字微位移传感器和第二电容式数字微位移传感器的输出端接信号采样电路的输入端，该信号采样电路的输出端接单片机控制器的输入端，该单片机控制器的输出端经串口通讯电路接PC机，该PC机的输出端经D/A转换器与所述的压电陶瓷驱动器的控制端相连。 | ||
| 搜索关键词： | 拼接 光栅 位移 偏差 监测 系统 | ||
【主权项】：
1、一种拼接光栅位移偏差监测系统，包括供安装拼接光栅的光栅拼接装置，该光栅拼接装置由粗调装置平台和精调装置平台组成，所述的粗调装置平台具有锁定结构，所述的精调装置平台由底层平台和上层平台构成，该精调装置平台安装有压电陶瓷驱动器，该压电陶瓷驱动器由水平压电陶瓷驱动器和竖直压电陶瓷驱动器组成，水平压电陶瓷驱动器驱动该精调装置平台相对于所述的粗调装置平台的水平位移，所述的竖直压电陶瓷驱动器驱动该精调装置平台的上层平台垂直位移，其特征在于：第一电容式数字微位移传感器的两极板相对地分别安装在所述粗调装置平台和精调装置的底层平台水平方向的位置，第二电容式数字微位移传感器的两极板相对地分别安装在所述精调装置的底层平台和上层平台的垂直方向的位置；所述的第一电容式数字微位移传感器和第二电容式数字微位移传感器的输出端接信号采样电路的输入端，该信号采样电路的输出端接单片机控制器的输入端，该单片机控制器的输出端经串口通讯电路接PC机，该PC机的输出端经D/A转换器与所述的压电陶瓷驱动器的控制端相连。
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