[发明专利]拼接光栅位移偏差监测系统

权利要求书

1、一种拼接光栅位移偏差监测系统，包括供安装拼接光栅的光栅拼接装置，该光栅拼接装置由粗调装置平台和精调装置平台组成，所述的粗调装置平台具有锁定结构，所述的精调装置平台由底层平台和上层平台构成，该精调装置平台安装有压电陶瓷驱动器，该压电陶瓷驱动器由水平压电陶瓷驱动器和竖直压电陶瓷驱动器组成，水平压电陶瓷驱动器驱动该精调装置平台相对于所述的粗调装置平台的水平位移，所述的竖直压电陶瓷驱动器驱动该精调装置平台的上层平台垂直位移，其特征在于：

第一电容式数字微位移传感器的两极板相对地分别安装在所述粗调装置平台和精调装置的底层平台水平方向的位置，第二电容式数字微位移传感器的两极板相对地分别安装在所述精调装置的底层平台和上层平台的垂直方向的位置；

所述的第一电容式数字微位移传感器和第二电容式数字微位移传感器的输出端接信号采样电路的输入端，该信号采样电路的输出端接单片机控制器的输入端，该单片机控制器的输出端经串口通讯电路接PC机，该PC机的输出端经D/A转换器与所述的压电陶瓷驱动器的控制端相连。

2、根据权利要求1所述的拼接光栅位移偏差监测系统，其特征在于所述的拼接光栅由第一子光栅和第二子光栅构成，所述的第一子光栅安装在所述的粗调装置平台的水平面上，当粗调装置平台锁定后作为基准光栅，第二子光栅子安装在所述的精调装置平台的上层平台的水平面上。

3、根据权利要求1所述的拼接光栅位移偏差监测系统，其特征在于所述的信号采样电路为电容数字转换器。