[发明专利]具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关有效
| 申请号： | 200810188423.5 | 申请日： | 2008-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101465243A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | C·F·凯梅尔;X·王;M·F·艾米;K·苏布拉马尼安 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;刘春元 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS开关(10，30，40)。MEMS开关(10，30，40)包括：衬底(12)，电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个的固定器(18)，以及被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动的栅极驱动器(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 双致动器 栅极 mems 微型 开关 | ||
【主权项】：
1. 一种MEMS开关(10，30，40)，包括：衬底(12)；电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)；固定器(18)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个；以及栅极驱动器(6)，被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动。
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