[发明专利]具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关

权利要求书

1.一种MEMS开关(10，30，40)，包括：

衬底(12)；

串联地电连接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件 (22，42)；

其中，所述第一致动元件和第二致动元件能够被独立地致动并集 成地形成为可移动致动器的相对端，并且其中在致动期间所述第一致 动元件和第二致动元件可以同时被吸引朝向所述衬底；

固定器(18)，与衬底(12)机械耦接并且直接支撑第一致动元 件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个，其中所述第一 致动元件和第二致动元件耦接到所述固定器；以及

栅极驱动器(6)，被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二 致动元件(22，42)致动。

2.如权利要求1所述的MEMS开关(10，30，40)，还包括第一接 触(15)和第二接触(17)，配置为使得当由栅极驱动器(6)致动时， 第一致动元件(21，41)电耦接到第一接触(15)，第二致动元件(22，42) 电耦接到第二接触(17)。

3.如权利要求1所述的MEMS开关(10，30，40)，还包括第一接 触(15)和第二接触(17)，配置为使得第二致动元件(22，42)与第 二接触(17)之间的电压差近似等于第一致动元件(21，41)与第一接 触(15)之间的电压差。

4.如权利要求1所述的MEMS开关(10)，还包括开关罩(25)， 其被布置在第一致动元件(21)和第二致动元件(22)上。

5.如权利要求1所述的MEMS开关(10，30，40)，其中栅极驱动 器(6)以第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)作为电基 准。

6.如权利要求1所述的MEMS开关(30，40)，其中第一致动元件 (21，41)和第二致动元件(22，42)包括导电致动元件(37，47)。

7.如权利要求6所述的MEMS开关(30，40)，其中第一致动元件 (21，41)和第二致动元件(22，42)还包括与所述第一致动元件和第 二致动元件(21，41，22，42)电隔离(36，46)的电偏置部件(39，49)。

8.如权利要求7所述的MEMS开关(30，40)，其中电偏置部件 (39，49)以栅极驱动器(6)作为电基准。

9.如权利要求1所述的MEMS开关(10，30，40)，其中第一致动 元件(21，41)和第二致动元件(22，42)是静电可致动的。

10.一种MEMS开关(50)，包括：

衬底(12)；

串联地电连接在一起的第一致动元件(51)和第二致动元件(52)， 其中，所述第一致动元件和第二致动元件能够被独立地致动并集成地 形成为可移动致动器的相对端，并且其中在致动期间所述第一致动元 件和第二致动元件同时被吸引朝向所述衬底；

固定器(58)，与衬底(12)机械耦接并且直接支撑所述第一致 动元件(51)和第二致动元件(52)中的至少一个，其中所述第一致 动元件和第二致动元件耦接到所述固定器；

栅极驱动器(56)，被配置来使得所述第一致动元件(51)和第 二致动元件(52)致动；以及

开关罩(25)，其被布置在所述MEMS开关的所述第一致动元件和 第二致动元件上并且与衬底(12)一起形成密封。