[发明专利]用于液晶显示装置的阵列基板及其制造方法

摘要

本发明公开用于液晶显示装置的阵列基板及其制造方法。用于液晶显示装置的阵列基板的制造方法包括：在金属材料层上形成初始光致抗蚀剂(PR)图案；使用初始PR图案作为蚀刻掩模蚀刻金属材料层，以形成数据线和金属材料图案，其中，初始PR图案处于数据线上；在初始PR图案上执行第一灰化处理，以部分去除初始PR图案，从而形成第一灰化PR图案，第一灰化PR图案具有比初始PR图案更小的宽度和更小的厚度，使得通过第一灰化PR图案暴露出数据线的端部；通过第一干蚀刻处理蚀刻本征非晶硅层和掺杂质非晶硅层；在基板上形成源极和漏极。

主权项

1.一种在用于液晶显示装置的阵列基板上制造数据线的方法，该方法包括如下步骤：在基板上形成栅极绝缘层，本征非晶硅层，掺杂质非晶硅层和金属材料层；在该金属材料层上形成初始光致抗蚀剂PR图案；使用该初始PR图案作为蚀刻掩模蚀刻该金属材料层，以形成该数据线和金属材料图案，其中，该初始PR图案处于该数据线上；在该初始PR图案上执行第一灰化处理，以部分去除该初始PR图案，从而形成第一灰化PR图案，该第一灰化PR图案具有比该初始PR图案更小的宽度和更小的厚度，从而该数据线的端部通过该第一灰化PR图案暴露出；使用该数据线作为蚀刻掩模，通过第一干蚀刻处理蚀刻该本征非晶硅层和该掺杂质非晶硅层，以在该数据线下面形成第一和第二图案；蚀刻该金属材料图案的一部分，以在该基板上形成源极和漏极；去除该第一灰化PR图案；在所述源极，漏极和数据线上形成钝化层；以及在该钝化层上形成像素电极。