[发明专利]用于垫片保护层的光敏树脂组合物、以及利用其来制造图像传感器的方法

摘要

本发明提供了一种用于垫片保护层的光敏树脂组合物以及利用该光敏树脂组合物来制造图像传感器的方法。该组合物包括(A)碱溶性树脂、(B)活性不饱和化合物、(C)光引发剂以及(D)溶剂。(A)碱溶性树脂包括这样的共聚物，该共聚物包括5至50wt％的具有以上化学式1的构成单元、1至25wt％的具有以上化学式2的构成单元以及45至90wt％的具有以上化学式3的构成单元，并且提供了一种利用光敏树脂组合物来制造图像传感器的方法。在上述化学式中，R₁₁至R₁₃、R₂₁至R₂₄以及R₃₁至R₃₃与在具体实施方式中所定义的相同。用于垫片保护层的光敏树脂组合物具有良好的图案化和蚀刻性能以及耐化学性，因此可以提供没有下部外敷层的图像传感器。

主权项

1.一种用于垫片保护层的光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂、(B)活性不饱和化合物、(C)光引发剂以及(D)溶剂，其中，所述(A)碱溶性树脂包括这样的共聚物，所述共聚物包括5至50wt％的具有以下化学式1的构成单元、1至25wt％的具有以下化学式2的构成单元、以及45至90wt％的具有以下化学式3的构成单元：[化学式1]其中，在上述化学式1中，R₁₁至R₁₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的杂芳基组成的组；[化学式2]其中，在上述化学式2中，R₂₁至R₂₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的杂芳基组成的组，R₂₄选自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基、取代或未取代的芳基、取代或未取代的杂芳基以及取代或未取代的烷氧基组成的组，以及n₂₄是0至5范围的整数；以及[化学式3]其中，在上述化学式3中，R₃₁至R₃₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的杂芳基组成的组，以及R₃₄选自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基、取代或未取代的芳基以及取代或未取代的杂芳基组成的组。