[发明专利]用于垫片保护层的光敏树脂组合物、以及利用其来制造图像传感器的方法

权利要求书

1.一种制造图像传感器的方法，包括：

在层间绝缘层上形成光电二极管、垫片以及钝化层并除 去在所述垫片上的钝化层以暴露所述垫片；

使用由包含(A)1至50wt％的碱溶性树脂、(B)1至 50wt％的活性不饱和化合物、(C)0.1至15wt％的光引发剂 以及(D)余量的溶剂的光敏树脂组合物在暴露的垫片上形成 垫片保护层，其中，所述(A)碱溶性树脂包括这样的共聚物， 所述共聚物包括5至50wt％的具有以下化学式1的构成单元、 1至25wt％的具有以下化学式2的构成单元、以及45至90 wt％的具有以下化学式3的构成单元：

其中，在上述化学式1中，

R₁₁至R₁₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代 或未取代的环烷基组成的组；

其中，在上述化学式2中，

R₂₁至R₂₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代 或未取代的环烷基组成的组，

R₂₄选自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基 组成的组，以及

n₂₄是0至5范围的整数；以及

其中，在上述化学式3中，

R₃₁至R₃₃独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代 或未取代的环烷基组成的组，以及

R₃₄选自由取代或未取代的烷基、取代或未取代的环烷基、 未取代的芳基组成的组，

所述共聚物进一步包括具有以下化学式4的构成单元：

其中，在上述化学式4中，

R₄₁至R₄₆独立地选自由氢、取代或未取代的烷基、取代 或未取代的环烷基组成的组，以及

R₄₇选自由取代或未取代的亚烷基、取代或未取代的环亚 烷基组成的组；

在所述层间绝缘层上形成滤色器、外敷层以及微透镜； 以及

除去所述垫片保护层以暴露所述垫片。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，形成垫片保护层包括：

将用于垫片保护层的所述光敏树脂组合物施加在所述层 间绝缘层的整个表面上并曝光它，以及

图案化用于垫片保护层的所述光敏树脂组合物。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，滤色器直接在所述钝化层 上，而在所述钝化层和所述滤色器之间没有外敷层。