[发明专利]钛膜的成膜方法和钛膜的成膜装置

摘要

本发明提供钛膜的成膜方法和钛膜的成膜装置，通过使钛的硅化物结构一致，能够改善表面形态等。在钛膜的成膜方法中，在能够抽真空的处理容器(14)内供给包含钛的原料气体、还原气体和非活性气体，并且在上述处理容器内产生等离子体，在从表面露出有硅部分(6)和绝缘膜(2)的被处理体(W)的表面上形成钛膜(8)，其中，将上述还原气体的供给量相对于上述还原气体和非活性气体的合计流量的比率设定为67％以下。由此，使钛的硅化物结构一致，改善表面形态等。

主权项

1. 一种钛膜的成膜方法，其向能够抽真空的处理容器内供给包含钛的原料气体、还原气体和非活性气体，并且在所述处理容器内产生等离子体，在从表面露出有硅部分和绝缘膜的被处理体的表面上形成钛膜，该钛膜的成膜方法的特征在于：所述还原气体的供给量相对于所述还原气体和非活性气体的合计流量的比率设定为67％以下。