[发明专利]一种高分辨率发射极钨针尖的制备方法及其装置

摘要

本发明公开了一种高分辨率发射极钨针尖的制备方法及其装置，涉及一种高分辨率二次离子质谱(SIMS)的液态金属离子源。提供一种较为简单，重复率高，可快速、安全地制备发射极钨针尖的方法。设有交流电压信号发生电路、腐蚀电流监控电路、腐蚀电压监控电路、自动腐蚀控制系统、螺旋微细调节器、腐蚀电解池和恒温控制系统。制作前将腐蚀液置于冷却器内进行低温冷却，至一定温度时取出，将其水平固定于恒温控制器中，调节恒温控制系统，恒温保持腐蚀液温度。取洁净钨丝经氢焰退火后，一端固定在螺旋微调装置上，作为一级，另一级为置于NaOH腐蚀溶液中的金属圆环电极：金属圆环电极水平放置于腐蚀电解池底中下部；钨丝取金属圆环电极中心点垂直插入腐蚀溶液中；将钨丝插入腐蚀溶液中并保持插入深度；监视腐蚀电流至腐蚀电流达到阈值；继续脉冲腐蚀，对针尖进行粗化处理，控制针尖长宽比。

主权项

制备高分辨率发射极钨针尖的装置，其特征在于设有交流电压信号发生电路、腐蚀电流监控电路、腐蚀电压监控电路、自动腐蚀控制系统、螺旋微细调节器、腐蚀电解池和恒温控制系统。交流电压信号发生电路可输出0～20V的额定电压，腐蚀电流监控电路与金属圆环电极相连监控腐蚀回路电流，腐蚀电压监控电路保护监控输出电压，自动腐蚀控制系统全程监控腐蚀过程，当回路电流低于阈值，其自动切断腐蚀回路，螺旋微细调节器保证发射极针尖准确定点插入腐蚀电解池的腐蚀液中。腐蚀过程中，腐蚀液温度由恒温控制系统监控。