[发明专利]相位差检测装置有效
| 申请号： | 200810177684.7 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101738369A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吴骏逸;庄凯评;林宛怡;谢易辰;杨富翔 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N19/00 | 分类号： | G01N19/00;G01N21/17;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种相位差检测装置，包含：一光源模块，用于产生一单波长光束；一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入圆偏振光产生模块后，会依次通过偏振器以及第一相位延迟器；以及一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过待测样品然后射入检测模块后，会依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜会将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 相位差 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种相位差检测装置，用于检测一透光的基板样品，依次包含：一光源模块，用于产生一单波长光束；一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入该圆偏振光产生模块后，依次通过偏振器以及第一相位延迟器；以及一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过基板样品然后射入检测模块后，依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。
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