[发明专利]相位差检测装置有效
| 申请号： | 200810177684.7 | 申请日： | 2008-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101738369A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吴骏逸;庄凯评;林宛怡;谢易辰;杨富翔 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N19/00 | 分类号： | G01N19/00;G01N21/17;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 相位差 检测 装置 | ||
1.一种相位差检测装置，用于检测一透光的基板样品，依次包含：
一光源模块，用于产生一单波长光束；
一圆偏振光产生模块，由一偏振器以及一第一相位延迟器所组成；当该单波长光束射入该圆偏振光产生模块后，依次通过偏振器以及第一相位延迟器；以及
一检测模块，由一第二相位延迟器、一偏振分光镜、一第一影像传感器以及一第二影像传感器所组成；当该圆偏振光通过基板样品然后射入检测模块后，依次通过第二相位延迟器及偏振分光镜，该偏振分光镜将椭圆偏振光分成左旋圆偏振光与右旋圆偏振光并分别射入第一影像传感器与第二影像传感器。
2.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该光源模块包含一多波长光源发射器以及一单波长滤光片，该多波长光源发射器发射多波长光束，该单波长滤光片用于将该多波长光束过滤为单波长光束。
3.如权利要求2所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源发射器包含一多波长光源、一准直镜头，以及分别连接该多波长光源及准直镜头的光导。
4.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源发射可见光波长的光线。
5.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为白炽灯光源。
6.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为闪光灯光源。
7.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长雷射。
8.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长气体灯。
9.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长发光二极管。
10.如权利要求3所述的相位差检测装置，其特征在于，该多波长光源为多波长荧光灯光源。
11.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该光源模块发射单波长准直光束。
12.如权利要求11所述的相位差检测装置，其特征在于，该单波长准直光束的波长大于可见光的波长。
13.如权利要求11所述的相位差检测装置，其特征在于，该单波长准直光束为红外光。
14.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该基板样品可挠。
15.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该基板样品由塑料所制成。
16.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振器为棱镜式偏振器。
17.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振器为薄膜偏振器。
18.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一相位延迟器为晶体式相位板。
19.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一相位延迟器为棱镜式相位板。
20.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二相位延迟器为晶体式相位板。
21.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第二相位延迟器为棱镜式相位板。
22.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为晶体式偏振分光镜。
23.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为棱镜式偏振分光镜。
24.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该偏振分光镜为薄膜式偏振分光镜。
25.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为电荷耦合组件式影像传感器。
26.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为互补式金属-氧化层-半导体式影像传感器。
27.如权利要求1所述的相位差检测装置，其特征在于，该第一影像传感器为二维光二极管数组式影像传感器。
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