[发明专利]透明薄膜晶体管及其制造方法无效
| 申请号： | 200810174247.X | 申请日： | 2008-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101436613A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 宋柱一 | 申请（专利权）人： | 东部高科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李丙林;张 英 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种透明薄膜晶体管及其制造方法包括：由透明材料组成的衬底、栅电极、栅极介电层、活化层、源电极和漏电极，以上各层中的至少一个由非晶氧化物材料组成。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 薄膜晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种透明薄膜晶体管，包括：衬底，由透明材料组成；栅电极，在所述衬底上方形成；栅极介电层，在所述栅电极和所述衬底上方形成；活化层，在所述栅极介电层上方形成；以及源电极和漏电极，在所述活化层上方彼此隔离开地形成以限定沟道区，其中，所述栅电极、所述栅极介电层、所述活化层、所述源电极和所述漏电极中的至少一个层由非晶氧化物材料组成。
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