[发明专利]缺陷检测方法以及缺陷检测装置

摘要

提供一种缺陷检测方法以及缺陷检测装置。在缺陷检测装置中，通过摄像部取得基板的被检查图像，通过采用边缘提取滤波器使被检查图像提取二值化来提取边缘。然后，基于从被检查图像除去了边缘的边缘除去后图像的浓度曲线图，求出用于使被检查图像二值化来生成检查用的处理后图像的检查用阈值。在浓度曲线图中，由于除去边缘，所以在布线图案所对应的浓度分布和基板主体所对应的浓度分布之间的浓度带上像素的频度为“0”，从而能够将2个浓度分布明确地分离。因此，能够通过将基板主体所对应的浓度分布的最大浓度作为检查用阈值，而高精度地求出检查用阈值。

主权项

1. 一种缺陷检测方法，用于检测基板上的几何图案的缺陷，其特征在于，包括以下工序：a工序，取得基板的多灰度的被检查图像；b工序，从所述被检查图像中提取边缘，从而生成边缘图像；c工序，对所述边缘图像的所述边缘进行膨胀处理；d工序，从所述被检查图像中除去在所述c工序中进行完膨胀处理的所述边缘，从而生成边缘除去后图像；e工序，取得所述边缘除去后图像的像素的浓度曲线图；f工序，在所述浓度曲线图中求出与所述基板的图案以外的区域相对应的浓度分布的最大浓度，或者比所述最大浓度大规定的偏移值的值，来作为阈值；g工序，根据所述阈值使所述被检查图像二值化，从而生成处理后图像；h工序，基于所述处理后图像，检测所述基板上的所述图案缺陷。