[发明专利]缺陷检测方法以及缺陷检测装置

权利要求书

1.一种缺陷检测方法，用于检测基板上的几何图案的缺陷，其特征在 于，包括以下工序：

a工序，取得基板的多灰度的被检查图像；

b工序，从所述被检查图像中提取边缘，从而生成边缘图像；

c工序，对所述边缘图像的所述边缘进行膨胀处理；

d工序，从所述被检查图像中除去在所述c工序中进行完膨胀处理的所 述边缘，从而生成边缘除去后图像；

e工序，取得所述边缘除去后图像的像素的浓度曲线图；

f工序，在所述浓度曲线图中求出与所述基板的图案以外的区域相对应 的浓度分布的最大浓度，或者比所述最大浓度大规定的偏移值的值，来作为 阈值；

g工序，根据所述阈值使所述被检查图像二值化，从而生成处理后图像；

h工序，基于所述处理后图像，检测所述基板上的所述图案缺陷。

2.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述b工序包括 以下工序：

通过对所述被检查图像进行边缘提取滤波处理，来生成边缘候补图像， 其中，该边缘候补图像是提取了的边缘候补的多灰度的图像，所述边缘候补 包括特定边缘和浓度差比该特定边缘的浓度差小的边界部，所属特定边缘是 指，作为浓度互不相同的区域的边界的上述边缘；

根据边缘提取阈值使所述边缘候补图像二值化，由此从所述边缘候补中 提取所述边缘，从而生成所述边缘图像。

3.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述b工序包括 以下工序：

根据假定阈值使所述被检查图像二值化，从而生成假定二值图像，所述 假定阈值设定在与所述图案相对应的浓度分布的波峰和与所述图案以外的 区域相对应的所述浓度分布的波峰之间的波谷位置；

通过从所述假定二值图像中提取所述边缘，生成所述边缘图像。

4.如权利要求1至3中任一项所述的缺陷检测方法，其特征在于，

在所述b工序与所述c工序之间，还包括对所述边缘图像进行噪声除去 处理的工序。

5.如权利要求4所述的缺陷检测方法，其特征在于，

所述基板上的所述图案是布线图案，

在所述h工序中，检测出所述布线图案的短路来作为所述缺陷。

6.如权利要求1至3中任一项所述的缺陷检测方法，其特征在于，

所述基板上的所述图案是布线图案，

在所述h工序中，检测出所述布线图案的短路来作为所述缺陷。

7.一种缺陷检测装置，用于检测基板上的几何图案的缺陷，其特征在 于，具有：

摄像部，其对基板进行摄像；

边缘提取部，其从通过所述摄像部取得的多灰度的被检查图像中提取边 缘，从而生成边缘图像；

膨胀处理部，其对所述边缘图像的所述边缘进行膨胀处理；

边缘除去部，其从所述被检查图像中除去通过所述膨胀处理部进行了膨 胀处理的所述边缘，从而生成边缘除去后图像；

曲线图取得部，其取得所述边缘除去后图像的像素的浓度曲线图；

阈值取得部，其求出在所述浓度曲线图中与所述基板的图案以外的区域 相对应的浓度分布的最大浓度、或者所述最大浓度附近的值，来作为阈值；

处理后图像生成部，其根据所述阈值使所述被检查图像二值化，从而生 成处理后图像；

缺陷检测部，其基于所述处理后图像来检测所述基板上的所述图案的缺 陷。