[发明专利]干涉相位差显微镜有效
| 申请号： | 200810171601.3 | 申请日： | 2008-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN101726844A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘定坤;杨富翔;王俊杰 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B5/30;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种干涉相位差显微镜，适于检测于量测区内的待测物。干涉相位差显微镜包括光源、分光镜与影像传感器，其中分光镜是将光源所产生的光束反射至量测区，而光束从量测区被反射后会穿过分光镜而入射影像传感器。干涉相位差显微镜更于光束的光路上配置第一偏极片、第二偏极片、第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜，其中第一偏极片是位于光源与分光镜之间，而第二偏极片是位于分光镜与影像传感器之间，且第一干涉相位差棱镜、波板以及第二干涉相位差棱镜是依序位于分光镜与量测区之间。第一干涉相位差棱镜的主轴与第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉 相位差 显微镜 | ||
【主权项】：
一种干涉相位差显微镜，其特征在于，包括：一光源，适于产生一光束；一分光镜，反射该光束至一量测区；一影像传感器，该光束从该量测区被反射后会穿过该分光镜而入射该影像传感器；一第一偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该光源与该分光镜之间；一第二偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该分光镜与该影像传感器之间；一第一干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该分光镜与该量测区之间；一波板，配置于该光束的光路上，并位于该第一干涉相位差棱镜与该量测区之间；以及一第二干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该波板与该量测区之间，且该第一干涉相位差棱镜的主轴与该第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角。
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