[发明专利]干涉相位差显微镜

权利要求书

1.一种干涉相位差显微镜，其特征在于，包括：

一光源，适于产生一光束；

一分光镜，反射该光束至一量测区；

一影像传感器，该光束从该量测区被反射后会穿过该分光镜而入射该影像传感器；

一第一偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该光源与该分光镜之间；

一第二偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该分光镜与该影像传感器之间；

一第一干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该分光镜与该量测区之间；

一波板，配置于该光束的光路上，并位于该第一干涉相位差棱镜与该量测区之间；以及

一第二干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该波板与该量测区之间，且该第一干涉相位差棱镜的主轴与该第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角。

2.如权利要求1所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，该波板为一1/4波板。

3.如权利要求2所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，该光束具有一基准轴，该第一偏极片的主轴与该基准轴夹45度角，该第二偏极片的主轴与该基准轴夹135度角，该第一干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹0度角，该第二干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹90度角，该1/4波板的主轴与该基准轴夹45度角。

4.如权利要求1所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，该波板为一1/2波板。

5.如权利要求2所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，该光束具有一基准轴，该第一偏极片的主轴与该基准轴夹45度角，该第二偏极片的主轴与该基准轴夹135度角，该第一干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹0度角，该第二干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹90度角，该1/4波板的主轴与该基准轴夹22.5度角。

6.一种干涉相位差显微镜，其特征在于，包括：

一光源，适于产生一光束；

一影像传感器，该光束穿过一量测区而入射该影像传感器；

一第一偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该光源与该量测区之间；

一第一干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该第一偏极片与该量测区之间；

一第一波板，配置于该光束的光路上，并位于该第一干涉相位差棱镜与该量测区之间；

一第二干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该第一波板与该量测区之间，且该第一干涉相位差棱镜的主轴与该第二干涉相位差棱镜的主轴夹90度角；

一第三干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该量测区与该影像传感器之间，且该第二干涉相位差棱镜的主轴与该第三干涉相位差棱镜的主轴夹0度角；

一第二波板，配置于该光束的光路上，并位于该第三干涉相位差棱镜与该影像传感器之间；

一第四干涉相位差棱镜，配置于该光束的光路上，并位于该第二波板与该影像传感器之间，且该第一干涉相位差棱镜的主轴与该第四干涉相位差棱镜的主轴夹0度角；以及

一第二偏极片，配置于该光束的光路上，并位于该第四干涉相位差棱镜与该影像传感器之间。

7.如权利要求6所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，该第一波板为一第一1/4波板，且该第二波板为一第二1/4波板。

8.如权利要求7所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，该光束具有一基准轴，该第一偏极片的主轴与该基准轴夹45度角，该第二偏极片的主轴与该基准轴夹135度角，该第一干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹0度角，该第二干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹90度角，该第三干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹90度角，该第四干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹0度角，该第一1/4波板的主轴与该基准轴夹45度角，该第二1/4波板的主轴与该基准轴夹 45度角。

9.如权利要求6所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，该第一波板为一第一1/2波板，且该第二波板为一第二1/2波板。

10.如权利要求9所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，该光束具有一基准轴，该第一偏极片的主轴与该基准轴夹45度角，该第二偏极片的主轴与该基准轴夹135度角，该第一干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹0度角，该第二干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹90度角，该第三干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹90度角，该第四干涉相位差棱镜的主轴与该基准轴夹0度角，该第一1/2波板的主轴与该基准轴夹22.5度角，该第二1/2波板的主轴与该基准轴夹22.5度角。