[发明专利]图像传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种图像传感器及其制造方法。该图像传感器可以包括：半导体衬底、第一电介质、第二电介质图案、平坦化层以及滤色镜。该半导体衬底包括光电二极管。该第一电介质设置在该半导体衬底上。该第二电介质图案设置在该第一电介质上并且包括位于与该光电二极管相对应的区域内的沟槽。该平坦化层设置在该沟槽中。该滤色镜设置在位于该光电二极管上的该平坦化层上。本发明可以抑制由于表面缺陷而可能产生的悬挂键，从而改善图像传感器的暗特性。

主权项

1.一种图像传感器，包括：半导体衬底，包括光电二极管；第一电介质，位于该半导体衬底上；第二电介质图案，位于该第一电介质上；沟槽，位于该第二电介质图案的一侧，其中该沟槽的至少一部分位于该光电二极管上方；平坦化层，位于该沟槽中；以及滤色镜，位于该平坦化层上。