[发明专利]用于吸收滑轨变形的具有柔性机构模块的样品运送平台

摘要

本发明涉及用于吸收滑轨变形的具有柔性机构模块的样品运送平台，包括安装成相互交叉方向的移动部件，由此安装在底座上并沿第一导块移动的第一滑轨，以及安装在第一滑轨上并沿第二导块移动的第二滑轨；经由样品台运送样品的运送部件，通过柔性机构模块安装形成在第二滑轨上，并且通过在相互垂直方向上安装在样品台上的X、Y条镜测量位移；测量部件，通过激光头、光束分配器以及安装在移动部件的操作路径上的干扰计扩散，并且通过从接收器接收由X、Y条镜反射的输入束干涉信号形成输出位移信号；由于滑轨产生的变形不被传送至样品台，镜子和样品的变形偏差减少，由于镜子和样品的相对距离固定，测量准确性提高。

主权项

1. 一种用柔性机构模块吸收滑轨变形的样品运送平台以及它的三个部件；被安装成相互交叉方向的移动部件，安装在底座(10)上并沿第一导块(21)移动的第一滑轨(20)，以及安装在所述第一滑轨(20)上并沿第二导块(32)移动的第二滑轨(30)；运送部件，其通过与柔性机构模块(50)一起安装形成在所述第二滑轨(30)上的样品台(40)运送样品(41)，并且通过在相互垂直方向上安装在所述样品台(40)上的X、Y条镜(42、43)测量位移；以及测量部件，通过激光头(61)、束分配器(62)、以及安装在所述移动部件的操作路径上的干涉计(63)进行扩散，以及通过从接收器(62)接收由所述X、Y条镜(42、43)反射的输入光束干涉信号把输出转变成位移信号。