[发明专利]用于吸收滑轨变形的具有柔性机构模块的样品运送平台

权利要求书

1.一种样品运送平台(1)，所述样品运送平台包括：

移动部件，所述移动部件包括沿相互交叉方向布置的第一滑轨(20)和第 二滑轨(30)，所述第一滑轨(20)安装在底座(10)上并沿第一导块(21)移 动，而所述第二滑轨(30)安装在所述第一滑轨(20)上并沿第二导块(32) 移动；

运送部件，所述运送部件包括构形成运送样品(41)的样品台(40)，所 述样品台(40)通过柔性机构模块(50)连接于所述第二滑轨(30)，并且通 过在相互垂直方向上安装在所述样品台(40)上的X、Y条镜(42、43)测量位 移；

测量部件，所述测量部件包括激光头(61)，束分配器(62)，以及布置 在所述移动部件的操作路径上的干涉计(63)，所述测量部件构形成通过从接 收器(64)接收由所述X、Y条镜(42、43)反射的输入光束干涉信号来输出位 移信号；

其中，形成在所述第二滑轨(30)上的柔性机构模块(50)包括：

在所述第二滑轨(30)的上表面依照上部和下部方向以有规则的间隔布置 的多个均匀穿透的减震孔(53)；以及

多个变形线(54)，所述多个变形线在所述减震孔(53)的中心处相遇， 使得在所述多个变形线(54)发生变形至与所述第二滑轨(30)的变形水平相 对应的程度时所述柔性机构模块吸收所述第二滑轨(30)的变形。

2.如权利要求1所述的样品运送平台，其特征在于，所述柔性机构模块(50) 包括带有连接孔(51)的安装部件(52)，用以连接所述柔性机构模块(50) 与所述样品台(40)；和在所述安装部件(52)的两侧具有一个或多个桥部件 (56)，所述一个或多个桥部件与所述安装部件形成一体，且所述柔性机构模块 (50)具有所述一个或多个桥部件(56)的变形空间。

3.如权利要求1所述的样品运送平台，其特征在于，适于吸收滑轨变形的 所述柔性机构模块(50)设置在所述第二滑轨(30)的四角中的每个角处。

4.如权利要求1所述的样品运送平台，其特征在于，适于吸收滑轨变形的 所述柔性机构模块(50)设置在所述第二滑轨(30)的一侧的两个角和另一侧 的中心。

5.如权利要求1所述的样品运送平台，其特征在于，至少五个柔性机构模 块(50)对称地或非对称地设置在所述第二滑轨(30)上。

6.如权利要求2所述的样品运送平台，其特征在于，所述安装部件(52) 的上侧设置有与所述样品台(40)接触的减震材料。

7.如权利要求2所述的样品运送平台，其特征在于，所述安装部件(52) 以及桥部件(56)的接触区具有线性形状，半圆形状或椭圆形状。

8.如权利要求1所述的样品运送平台，其特征在于，所述柔性机构模块(50) 连接于所述第二滑轨(30)。