[发明专利]阀及使用该阀的基底处理设备和方法有效
| 申请号： | 200810167470.1 | 申请日： | 2008-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101408250A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 郑惠善;秋永浩 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/314 | 分类号： | F16K3/314;F16K27/04;F16K37/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 褚海英;武玉琴 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种具有用于处理溶液的传感器的阀，使用了该阀的基底处理设备，以及基底处理方法。所述阀包括主体、进口、出口、闸门和传感器。所述主体中设有通道，用于基底的处理溶液流经所述通道。所述进口与所述通道的一端相连，处理溶液通过所述进口流入所述主体。所述出口与所述通道的另一端相连，处理溶液通过所述出口排放至所述主体外。所述闸门用于在所述进口和通道相连的区域打开或关闭所述通道。所述传感器与主体配合以接触流经所述通道的处理溶液并检测处理溶液的成分。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 基底 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阀，其包括：其中设有通道的主体，基底的处理溶液流经所述通道；与所述通道的一端相连的进口，所述处理溶液通过所述进口流入所述主体；与所述通道的另一端相连的出口，所述处理溶液通过所述出口排放至所述主体外；闸门，其用于在所述进口和所述通道相连的区域打开或关闭所述通道；以及与所述主体接合的传感器，其与流经所述通道的所述处理溶液相接触并检测所述处理溶液的成分。
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