[发明专利]电子束曝光系统

摘要

本发明涉及一种用于将图案转移到目标的表面上的电子束曝光设备，包括：用于产生多个电子小射束(5a、5b)的小射束发生器；用于接收所述多个电子小射束的调制阵列，包括用于调制电子小射束的强度的多个调制器；控制器，可操作地连接于所述调制阵列，用于单独地控制所述调制器；调节器，可操作地连接于每个调制器，用于单独地调节每个调制器的控制信号；包括静电透镜的阵列(7)的聚焦电子光学系统，其中每个透镜将由所述调制阵列传输的相应的单个小射束聚焦于小于300nm的横截面，以及用于以使得图案将被转移到其上的其曝光表面处于聚焦电子光学系统的第一焦平面中的方式固定所述目标的目标固定器。

主权项

1. 一种以多束平版印刷系统在目标上曝光图案的方法，其中所述图案根据形成方格单元的方格被划分，所述方法包括：提供多个小射束，所述小射束被布置在阵列内；提供将被曝光的目标；产生所述多个小射束和所述目标之间的在第一方向上的相对运动；和在第二方向上移动所述多个小射束，其中所述第二方向不同于所述第一方向；其中，所述方法还包括借助于控制信号调制所述多个小射束中每个小射束，使得每个方格单元的曝光强度是可变的。