[发明专利]电子束曝光系统

权利要求书

1.一种以多束平版印刷系统将图案转移到目标表面上的方法，其 中所述图案根据形成方格单元的方格被划分，所述方法包括：

提供多个小射束，所述小射束被布置在方格中；

提供将被曝光的目标；

产生所述多个小射束和所述目标之间的在偏转扫描方向上的相 对运动；和

在机械扫描方向上移动所述多个小射束，其中所述机械扫描方向 不同于所述偏转扫描方向；

其中，所述方法还包括借助于控制信号调制所述多个小射束中每 个小射束，使得曝光强度被离散地控制。

2.如权利要求1的方法，其中通过由灰度值表示每个方格单元的 曝光强度来实现离散地控制在相应方格单元处要接收的剂量。

3.如权利要求1的方法，其中所述多束平版印刷系统包括小射束 停止阵列，并且所述调制包括根据相应的控制信号偏转所述多个小射 束中的一个小射束，使得通过小射束停止阵列使所述一个小射束的指 定部分停止。

4.如权利要求3的方法，其中控制所述偏转，使得所述一个小射 束的一部分穿过所述小射束停止阵列。

5.如权利要求4的方法，其中所述一部分对应于由单个小射束所 提供的最大剂量的0、1/3、2/3和1倍。

6.如权利要求1的方法，其中所述调制包括根据相应的控制信号 偏转所述多个小射束中的一个小射束，使得所述一个小射束没有相对 于所述目标表面移动预定时间量。

7.如权利要求6的方法，其中所述预定时间比消隐器的最小接通 /切断时间长。

8.如权利要求7的方法，其中在所述预定时间期间，在一个位置 上淀积一个或多个点，从而形成灰度级。

9.如权利要求1的方法，其中提供多个小射束包括将电子束提供 到孔阵列，从而形成不同尺寸的多个小射束。

10.如权利要求9的方法，其中所述多束平版印刷系统还包括配 备有能由所述控制信号控制的多个调制器的小射束消隐器阵列和小射 束停止阵列，并且其中所述调制包括根据相应的控制信号借助于相应 的调制器偏转所述多个小射束中每个小射束，使得偏转后的小射束被 所述小射束停止阵列阻断。

11.如权利要求9的方法，其中所述孔阵列被配备有三种不同孔 尺寸的孔，即被设置为允许某电流通过的尺寸、被设置为允许所述电 流的一半通过的尺寸、和被设置为允许所述电流的四分之一通过的尺 寸，并且其中通过偏转电极接通和切断小射束以控制经过被设置为允 许某电流通过的尺寸的孔、被设置为允许所述电流的一半通过的尺寸 的孔和被设置为允许所述电流的四分之一通过的尺寸的孔的电流。

12.如权利要求1的方法，其中所述偏转扫描方向垂直于所述机 械扫描方向。

13.一种用于根据形成方格单元的方格将图案转移到目标表面上 的电子束曝光设备，包括：

用于产生多个电子小射束的小射束发生器，其中所述小射束被布 置在方格中；

用于固定目标的目标固定器，其中所述目标具有用于接收要被转 移的图案的表面；

用于产生所述多个小射束和所述目标固定器之间的在机械扫描 方向上的相对运动的致动器；

用于在偏转扫描方向上移动所述多个小射束的扫描偏转阵列，其 中所述偏转扫描方向不同于所述机械扫描方向；

用于调制所述多个小射束中各个小射束的调制阵列；

控制器，被设置为提供控制信号到所述调制阵列，使得每个方格 单元的曝光强度被离散地控制。

14.如权利要求13的系统，其中通过由灰度值表示每个方格单元 的曝光强度，所述控制器所提供的控制信号离散地控制在相应方格单 元处要接收的剂量。

15.如权利要求13的系统，其中所述调制阵列包括：

配备有能由所述控制器控制的多个调制器的小射束消隐器阵列； 和

小射束停止阵列。