[发明专利]抛光液无效
| 申请号： | 200810149126.X | 申请日： | 2008-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101397481A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 斋江俊之;上村哲也 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈 平 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于抛光半导体集成电路的阻挡层的抛光液，所述抛光液包含：季铵阳离子；腐蚀抑制剂；在末端具有磺基的聚合物化合物；无机粒子；和有机酸，所述抛光液的pH值在1至7的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
1. 一种用于抛光半导体集成电路的阻挡层的抛光液，所述抛光液包含：季铵阳离子；腐蚀抑制剂；在末端具有磺基的聚合物化合物；无机粒子；和有机酸；其中所述抛光液的pH值在1至7的范围内。
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