[发明专利]成像设备

摘要

控制部分控制成像部分在目标上形成校准图案。所述的校准图案包括第一组和第二组中的多个标记。第二组中的标记在第二方向上形成在与第一组中的标记不同的位置。第一组和第二组每一组中的标记在第一方向上排列在所述目标上的预定范围内。每个标记具有形状和颜色。检测部分检测形成在目标上的校准图案，从而获得检测结果。校正部分基于检测结果校正成像部分形成图像的成像位置。属于不同的组且具有相同颜色的标记形成在至少部分预定范围中相对于第一方向的不同位置上。

主权项

1. 一种成像设备，其特征在于，包括：成像部分，所述成像部分在目标上形成图像，所述目标在第一方向上可移动，并且在垂直于所述第一方向的第二方向上具有宽度；控制部分，所述控制部分控制所述成像部分在所述目标上形成校准图案，所述校准图案包括第一组中的多个标记和第二组中的多个标记，所述第二组中多个标记的形成位置在所述第二方向上不同于所述第一组中多个标记的位置，在所述第一组和第二组的每组中的多个标记在所述第一方向上排列在所述目标上预定范围内，所述多个标记中的每一个都具有形状和颜色；检测部分，所述检测部分检测形成在所述目标上的校准图案，从而获得检测结果；和校正部分，所述校正部分根据所述检测结果校正所述成像部分形成图像的成像位置，其中，属于不同的组且具有相同颜色的多个标记相对于所述第一方向形成在至少部分所述预定范围内的不同位置上。